适合于局部表面改性;
零件处理时的变形小;
一般不需特别的冷却装置即可获得足够的冷却速度;
不论零件的形状多么复杂，凡是能观察到的区域就可以进行电子束表面强化;
由于电子束的功率参数、作用时间等规范参数可以精确控制，表面层的温度、强化的深度、加热和冷却速度等都可以严格控制;
电子束表面强化在真空中完成，故可以获得纯净的表面强化层，没有氧化和氮化过程;
适用于局部易磨损、冲击、剥蚀、氧化腐蚀及要求特殊性能（局部光敏、热敏等）的零部件；
可获得较厚的覆层；
易实现选区熔覆，而且热变形小，覆层成分及稀释率可控；
在经济上和覆层质量上都优于传统的堆焊工艺。
利用降低的单位面积电能使表面极浅（2um）层部分瞬间熔化，照射时间仅为2us；
表面将被非晶化即非定形化，若将这一过程沿着整个表面反复进行就能获得非常光滑的表面；
所形成的非定形化表面难以产生氧化，不易生锈；
模具的加工面，有电火花加工得到的梨皮面、铣削加工得到的切削面以及磨削面等，现在又增加了一种用特殊电子束照射在数分钟内就能得到的镜面。
电子束物理气相沉积（PED-PVD或数字涂层）利用脉冲电子蒸发靶材，在基板和部件上创建复杂的材料组份；
通常元素采用的是例如金属和陶瓷形成复合的材料，作为新材料组合固化在基板和部件上；
它可以通过电子束的脉宽或频率进行精确控制涂层的沉积速率和深层结构；
沉积涂层时，如同时采用多电子枪轰击不同靶材，该系统可生成梯度涂层组份的功能。
